氣動測量儀器功能性檢具，主要就是位置度檢具、通止塞規、通止卡板、螺紋塞規、螺紋深度規、觸摸深度規等。是否合格直接判斷。適用粗加工工序或者模擬裝配篩選等場合使用。帶表類檢具，具備可讀數，拿取方便，直觀判斷被加工工件的尺寸分布情況，便于快速判斷及數據的讀取，不便的是數據處理需要另外人員或設備來完成。
氣電類和電子類檢具，主要是氣電卡規、氣電塞規、電子卡規、電子塞規及一些綜合類帶SPC數據處理的檢具。氣動測量儀器類檢具主要用在一些關鍵特性的檢測中，這類被測尺寸是工廠需要重點控制的，數據要可保存，可追溯，可分析等。
氣動測量儀器檢具的驗收主要分如下幾個步驟：外觀及操作性驗收，是否能實現功能。精度驗收，根據圖紙驗收重要特性參數。重復性驗收，根據不同的要求驗收重復性，如Cg或GR&R等。準確性驗收，和其它檢測手段比對測量。關鍵技術資料的接收整理等。
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